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2020.10.15
フロンティア理工学研究所物質・材料フロンティア部門中谷研究室(プラズマ薄膜材料研究室)在籍の工学研究科システム科学専攻1年米澤 健様が、文部科学省共同利用・共同拠点名古屋大学低温プラズマ科学研究センターより、第22回「プラズマ材料科学賞技術部門賞」を受賞されることが決まりました。本賞は産業応用技術の発展に関する業績・貢献に対して授与される賞です。
社会人ドクターの米澤様が中谷先生と共に研究を進めてきた圧力勾配型スパッタリング法は、ダメージの少ない高品質薄膜を高い成膜レートで形成することができ、従来法を凌駕した性能を実現したことで製品化に成功し、当該技術分野の進歩に大きく貢献したことが評価されました。
授与式は、2021年1月29日(金)9:00~9:20にWebExウェビナー開催されるSPP-38/SPSM33(第38回 プラズマプロセシング研究会(SPP-38) / 第33回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM33)で行われます。
文部科学省共同利用・共同拠点名古屋大学低温プラズマ科学研究センター https://www.plasma.nagoya-u.ac.jp/joint/
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