中谷教授が日本表面真空学会より“2019年度SP部会賞”を受賞

2020.10.15

　フロンティア理工学研究所物質・材料フロンティア部門の中谷達行教授が、日本表面真空学会より 2019年度SP部会賞を受賞されました。本賞は、スパッタリングおよびプラズマプロセス技術およびその関連技術分野において顕著な業績を収めたものに授与されるものです。
　中谷先生が産学連携で研究を進めている、高度な表面改質を可能とする次世代のプラズマ電源を開発したことが高く評価されました。授賞式は、9月7日（月）にWeb開催された日本表面真空学会SP部会 第164回定期研究会にて行われました。

日本表面真空学会HP　　https://www.jvss.jp/